
Никифорова – Денисова С.Н. Механическая и химическая обработка. Книга 4. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. М.: Высш. шк., 1989. 95 с.
Данный учебник расскажет о технологии мех-хим-обработки полупроводников, методы эксплуатации оборудования для этих целей, особенности получения качественной продукции.
Механическая и химическая обработка скачать бесплатно книгу.
Интересное по теме:
Аморфные металлы
Конструкционные материалы. Справочник.
Термическая обработка металлов
Металлургия чугуна
Электроосаждение металлических покрытий
Протяжные работы
Обезжиривание, травление и полирование металлов
Юсфин Ю С – Металлургия железа (скачать бесплатно книгу)