Никифорова – Денисова С.Н. Механическая и химическая обработка. Книга 4. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. М.: Высш. шк., 1989. 95 с.

Данный учебник расскажет о технологии мех-хим-обработки полупроводников, методы эксплуатации оборудования для этих целей, особенности получения качественной продукции.

Механическая и химическая обработка скачать бесплатно книгу.

Интересное по теме: